華中科大團隊研發(fā)國內(nèi)首款OPC軟件強勢助力芯片制造

中國教育報-中國教育新聞網(wǎng)訊（記者 程墨 通訊員 尚紫荊）近日，華中科技大學(xué)機械學(xué)院劉世元教授團隊成功研發(fā)出國內(nèi)首款完全自主可控、可用于芯片制造的OPC軟件，并實現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化，填補了國內(nèi)在此方面的空白。

據(jù)劉世元介紹，光刻是芯片制造中最為關(guān)鍵的一種工藝，通過光刻成像系統(tǒng)，將設(shè)計好的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上。隨著芯片尺寸不斷縮小，硅片上的曝光圖形會產(chǎn)生畸變。在90nm甚至180nm以下芯片的光刻制造前，都必須采用一類名為OPC（光學(xué)臨近校正）的算法軟件進行優(yōu)化。沒有OPC，所有IC制造廠商將失去將芯片設(shè)計轉(zhuǎn)化為芯片產(chǎn)品的能力。目前，全球OPC工具軟件市場完全由Synopsys、Mentor、ASML—Brion等3家美國公司占領(lǐng)。

“從基礎(chǔ)研究到產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，我們團隊整整走了十年。十年磨一劍，就是要解決芯片從設(shè)計到制造的卡脖子問題。下一步，我們將加快產(chǎn)品推廣步伐，加快進入國內(nèi)外芯片制造廠商市場，力爭成為全球芯片產(chǎn)業(yè)鏈中重要的一環(huán)?！眲⑹涝f。

據(jù)悉，劉世元是華中科技大學(xué)集成電路測量裝備研究中心主任，同時也是光谷實驗室集成電路測量檢測技術(shù)創(chuàng)新中心主任。他早年師從華中理工大學(xué)前校長、著名機械學(xué)家楊叔子院士，于1998年獲工學(xué)博士學(xué)位。